半導体カーブトレーサ CS-8000シリーズ

CS-8000シリーズ

半導体カーブトレーサ
CS-3000,5000,10000
シリーズカタログ

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[新製品] CS-8000 半導体カーブトレーサ

最大5kV、最大2000Aでのハイパワーテスト
正確な微小電流測定　(分解能250fA）
大画面12.1インチのタッチスクリーン
多彩なGATE信号出力機能
充実した温度特性測定オプション
プローバーでのハイパワーオンウェハテスト

半導体カーブトレーサCS-8000シリーズは、多彩なユニットの組み合わせで、あらゆる工程における特性評価に最適で、次世代の半導体測定に対応します。

主な仕様	ゲート電圧	電圧レンジ	最大測定電流	電流測定分解能
主な仕様	±40 V	0.2 ～ 5 kV	2 kA	250 fA

実測定時の
メリット

SiCやGaNデバイスに対応
ウエハーや小電力デバイスにも対応
ハイパワーデバイスにも対応
微小電流測定に対応

使いやすいUI

　12.1インチTFT-LCD（1,280×800）の高精細・大画面ディスプレイ搭載を搭載し、タッチスクリーンによる操作に加え、フロントパネル上のファンクションキー、機能毎に独立したノブで直感的な操作が可能です。

①X-Y表示エリア

任意の電圧/電流パラメータをそれぞれX軸Y軸に設定でき、Vds Id特性、スレッショルド電圧、Vds-Vgs飽和特性等、様々な半導体特性カーブの表示が可能です。また、Y軸に複数のパラメータを設定できます。スケールは、Log/リニアの切り替えが可能です。

②Y-T表示エリア

測定印加波形をオシロスコープのように時間軸で表示します。パルス幅・測定ポイント・発振などの波形異常等をリアルタイムで確認できるので、正確な測定が行えたかの検証を容易に行えます。全ての印加波形データはX-Y表示のデータと同時に保存できるので、測定結果の再検証を行うことができます。

③測定データ表示エリア

詳細な測定結果と測定条件、ステータスをテキスト形式で表示します。

④コンフィグレーション設定エリア

デバイスの測定コンフィグレーションを設定します。電圧/電流ユニットの選択や配線変更等をグラフィカルな表示でサポートします。

⑤パラメータ設定エリア

測定パラメータ・測定リミットの設定やマニュアル/自動測定の切り替えなどをこのエリアで行います。

⑥操作パネル

正面パネルにボタンとロータリーノブが配置されており、マニュアル測定を簡単に行えます。中央に配置されたテンキーでは、パラメータの数値入力を行うことができます。 DRAIN/COLLECTOR・GATE/BASE・垂直軸・水平軸ロータリーノブによりマニュアル測定を簡単に行うことができます。

用途に合わせた出力ソース

用途に合わせて測定に必要な電圧・電流ユニットを任意に選択できます。

右写真は、

上段：テストフィクスチャ

下段：ハイカレントユニット

■HVユニット

2kV、5kVの高電圧ユニットです。DC/パルス波が選択可能です。定電圧・定電流駆動測定の選択ができます。

メインユニット	CS-8200	CS-8500
最大電圧（最大電流）	2 kV （20 mA）	5 kV （8 mA）
波形	DC、パルス
極性	正／負
測定電流分解能	250 fA

■MVユニット (全メインユニット共通)

最大電圧（最大電流）	200 V（2 A）
波形	DC（200 mA）、パルス（2 A）、 SIN、半波、全波
極性	正／負／両極性
測定電流分解能	250 fA

200Vの中電圧ユニットです。定電圧・定電流駆動測定の選択ができます。DC、パルスの他、SIN、半波、全波波形が選択できます。

■GATEユニット (全メインユニット共通)

40Vのユニットです。定電圧・定電流駆動測定の選択ができます。DC、パルスの他、SINが選択できます。

最大電圧（最大電流）	40 V（1 A）
波形	DC、パルス、SIN
極性	正／負／両極性
測定電流分解能	250 fA

■HCユニット

HC ユニット	CS-205	CS-210	CS-220
最大電流（電圧）	500 A （50 V）	1 kA （50 V）	2 kA （50 V）
波形	パルス
パルス幅	10μs～1ms	10μs～500μs
極性	正／負

大電流モード搭載により、2000Aまでの大電流測定に対応できます。パルス幅、測定周期、測定範囲が可変できます。

最小電流分解能 250 fA

トライアキシャルの採用と測定系の最適化等により、機器内のリークやノイズを低減したため、微小電流の安定した測定が可能です。

多彩なGATE信号出力

GATE信号をシーケンス出力し、印加することができます。

ホールドタイム可変範囲

0.000[s] ～ 5.000[s]

予備信号電圧範囲

GATE側 -40[V] ～ +40[V]

ヒステリシスの測定

CS-8000はヒステリシスを持ったSiCやGaNなどのワイドバンドギャップ半導体の測定に便利な機能を備えています。

ダブルスイープ機能はUPスイープ・DOWNスイープを同時表示するためヒステリシスの観測が可能です。

安全機構

インターロック機能に加え、出力リミット機能を備えています。

電圧・電流・電力、それぞれのリミット値を設定でき、DUTの損傷を防ぐことができます。

また、ハードウェアの過電流保護機能により、測定レンジの1.4倍の電流が流れると電流を遮断します。

組み合わせ構成

測定ターゲットの電圧と電流に合わせてHCユニットやフィクスチャを選択できます。

■構成例		2 kV、2,000 Aで使用する場合
	メインユニット		CS-8200	アクセサリケーブル
	HCユニット		CS-2200		HV標準ケーブルセット	CS-021
	テスト・フィクスチャ		CS-322HV/HC		HC標準ケーブルセット	CS-022

HVユニット
CS-8000シリーズ　主な仕様
メインユニット　モデル名	CS-8020	CS-8200	CS-8500（TBD）
最大ピーク電圧（最大電流）	―	2 kV（20 mA）	5 kV（8 mA）
測定電圧レンジ（フルスケール）	―	50 V ～ 2 kV	50 V ～ 5 kV
測定電流レンジ	―	20 mA ～ 50 μA	20 mA ～ 50 μA
最小測定電流分解能	―	250 fA	250 fA
波形	―	DC・パルス	DC・パルス
MVユニット
最大ピーク電圧（最大電流）	200 V（2 A）
測定電圧レンジ（フルスケール）	200 mV ～ 200 V
測定電流レンジ	2 A ～ 5 nA
最小測定電流分解能	250 fA
波形	DC・パルス
GATEユニット
最大ピーク電圧（最大電流）	40 V（1 A）
測定電圧レンジ（フルスケール）	1 V ～ 50 V
測定電流レンジ	5 nA ～ 1 A
最小測定電流分解能	250 fA
波形	DC・パルス・SIN（50 Hz）
標準付属品	電源ケーブル、コントロールインタフェース終端器、取扱説明書（冊子＋CD）

HCユニット　モデル名	CS-205	CS-210	CS-220
最大ピーク電流（最大電圧）	500 A（50 V）	1,000 A（50 V）	2,000 A（50 V）
測定電圧レンジ（フルスケール）	200 mV ～ 50 V	200 mV ～ 50 V	200 mV ～ 50 V
測定電流レンジ	500 mA ～ 500 A	500 mA ～ 1,000 A	500 mA ～ 2,000 A
波形	パルス（幅10 μs ～ 1 ms）	パルス（幅10 μs ～ 500 μs）	パルス（幅10 μs～ 500 μs）
標準付属品	電源ケーブル、HC-FIXTURE接続ユニット、取扱説明書

※HCユニットをご使用の場合は、別途センスケーブルが必要となります。

テスト・フィクスチャ　モデル名	CS-320MV(近日発売予定)	CS-322HV/HC
標準付属品	電源ケーブル、標準リードセット(CS-005 1式7本組)、取扱説明書
標準付属品	―	HV／HCケーブル (2本)

※テスト・フィクスチャを接続する場合は、別途ケーブルが必要となります。

■ケーブルセット（テスト・フィクスチャやHCユニットへの接続時に使用します。）
ケーブルセット名	型番	品名
CS-020 MV標準ケーブルセット（CS-320用推奨セット）	CS-026	トライアキシャルケーブル（L=1.0 m） 7本
	CS-027	コントロールインタフェースケーブル（L=1.0 m） 1本
	CS-028	インターロック／センスケーブル（L=1.0 m） 1本
CS-021 HV標準ケーブルセット（CS-322用推奨セット）	CS-025	HVケーブル（L=1.0 m） 2本
	CS-026	トライアキシャルケーブル（L=1.0 m） 7本
	CS-027	コントロールインタフェースケーブル（L=1.0 m） 1本
	CS-028	インターロック／センスケーブル（L=1.0 m） 1本
CS-022 HC標準ケーブルセット（HCユニット用推奨セット）	CS-027	コントロールインタフェースケーブル（L=1.0 m） 1本
CS-022 HC標準ケーブルセット（HCユニット用推奨セット）	CS-028	インターロック／センスケーブル（L=1.0 m） 1本

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