静電容量式　変位計 ST-3541発売のお知らせ 精密ステージの位置検出や姿勢制御に威力を発揮する、高安定・高分解能を実現

岩通計測株式会社（本社: 東京都杉並区、　社長:　藤田 博之、　資本金：4億5千万円、以下“岩通計測”）は静電容量式 非接触変位計ST-3541を発売いたしますので、お知らせ申し上げます。 ST-3541は位置決めに特化した新設計により、卓越した高安定・高分解能を実現しました。

開発の背景

岩通計測の変位計事業は主にハードディスク用モーターなどの「軸振れ・面振れ」測定に需要を求めていました。しかし、近年の技術進歩の向上に伴い、ナノメートルの位置検出・姿勢制御、平面度・厚み測定のニーズが、半導体・精密加工・顕微鏡産業などで高まってきました。昨年2回目を迎えた「ポジショニングEXPO」（パシフィコ横浜）への関心の高まりも、その現れといえるかもしれません。 ハードディスク用モーターに用いてきた従来の測定方法は、プローブ内に回路を有する「アクティブ」型のため、安定性に課題がありました。 このたび発売したST-3541は、プローブ内に回路の無い「パッシブ型」を採用したため、安定性を大きく向上させることができました。また、回路がないため小さなプローブとなり、組み込みに最適になりました。これにより、ナノメートルの変位測定が必要とするニーズに極めて高いレベルで応える商品として、新規分野に大きな期待を持っています。

ST-3541の特長

卓越した高安定 下図は25℃に設定された恒温槽内における安定度の測定例です。 12時間という長時間にわたり、安定した測定が行われているのが分かります。 高分解能測定を実現 最高分解能0.3nm rms 下図はピエゾ素子を階段状の電気信号で駆動させ、その変位を測定したものです。 1nmという小さなステップ信号でも応答がよく確認できます。 5nmステップ 階段波形：周波数　15Hz　ステップ幅　5nm。帯域設定：1kHz 1nmステップ 階段波形：周波数　0.15Hz　ステップ幅　1nm。帯域設定：100Hz 小型プローブで取り付けがいっそう簡単に プローブ本体に回路を内蔵しないので、大幅な小型化が図れました。（直径、当社比50%） これにより、測定システムへの組み込みの自由度が大きく広がりました。 専用接続ケーブルでチャネル間の同期が可能に 複数台を使用するときも、チャネル間を接続することにより、同期運転時が可能になりました。 同期運転はチャネル間の干渉を防ぎ、測定結果の安定化が図れます。 システム構築のコスト低減が図れます 複数チャネル使用時は、必要に応じた電源供給のみで増設が可能なため、システム構築のコスト低減が図れます。

概略仕様

項目 性能 ST-3541 測定方式 静電容量方式 測定範囲 50±25µm、100±50µm、200±100µm、500±250µm 測定レンジによりプローブ 1種類を選択。調整後出荷。 出力電圧 ＋10V ～ -10V（フルスケール） 周波数帯域 DC～1KHz（-3dB）（約5kHz、100Hz、10Hzに変更可能） 同期運転 ST-3540　1台との組み合わせで3台までの同期運転が可能 大きさ・質量 約110(W)×35(H)×140(L) [突起物を除く]mm、約0.42kg 電源 ST-3540を使用。または外部電源±15Vを供給（消費電流120mA以下） 使用温度範囲 0℃ ～ 40℃ ST-3540 機能 ST-3541への電源供給、同期信号供給、出力電圧モニタ 表示部 4桁半 赤色LED 有効表示範囲：±10.300 表示電圧確度：±0.2%±5カウント 表示選択：A、B、C、A+B、A-B オフセット：±4.999Vまでのオフセット可能 モニター出力 表示選択された信号を背面から出力（アナログ電圧） 出力電圧確度：±0.1%±2mV 同期運転 ST-3541　2台の同期が可能。（合計でST-3541×6台のシステムが可能） 大きさ・質量 約110(W)×110(H)×180(L) [突起物を除く]mm、約1.74kg 電源電圧 AC100V/110/220/240V  50/60Hz  電源電圧設定は工場オプションによる。 消費電力 最大30VA 使用温度範囲 0℃ ～ 40℃

プローブ

型名 電極径 [mm] 測定範囲 [µm] 分解能 (BW=1kHz) [nm rms] ST-0403シリーズ 5.0 50±25～500±250 0.3～12 ST-0402シリーズ 2.5 50±25～500±250 1～50 ST-0401シリーズ 1.0 50±25、100±50 4、15

商品外観

ST-3541 3台と表示ユニットST-3540組み合わせ例

標準価格

ST-3541（本体）	350,000円（税込み　367,500円）
ST-3540(表示ユニット)	100,000円（税込み　105,000円）
プローブ（各機種同一価格）	200,000円（税込み　210,000円）
合計	650,000円（税込み　682,500円）

販売見通し

ST-3541

250台/　年

発売時期と出荷開始

● 発売日	5月14日
● 出荷開始	5月末

お問い合わせ先

■　お客様 岩通計測株式会社　営業部 〒168-8511　東京都杉並区久我山１－７－４１ 電話： 03-5370-5474　　FAX： 03-5370-5492 岩通計測株式会社　西日本営業所 〒541-0054　大阪市中央区南本町３－６－１４ (イトウビル) 電話： 06-6243-4533　　FAX： 06-6243-4675

■　メディア関連の方 岩通計測株式会社　マーケティング部 〒168-8511　東京都杉並区久我山１－７－４１ 電話： 03-5370-5473　　FAX： 03-5370-5492