へテロダイン方式レーザ変位計 ST-3761発売のお知らせ ナノメートル計測を容易に実現 最高分解能 20pm（ピコメートル、1億分の2メートル）

岩通計測株式会社（本社:東京都杉並区、社長:藤田 博之、以下"岩通計測"）は福井大学 工学部 教授 小林喬郎 氏と共同開発した、へテロダイン方式レーザ変位計 ST-3761を発売しますので、お知らせ申し上げます。 なお、本製品は、4月19日から幕張メッセで行われる「第24回モータ展」に出品致します。

開発の背景

日本のものづくりの強みである微細加工技術は、マイクロマシン、MEMS(Micro Electro Mechanical System)を利用して、製品開発のキーデバイスとなりつつあります。 特にMEMSは半導体開発を通じて、あらゆる分野に活用されています。 また、プリンタの高性能化に伴い、インクの噴射量をますます精密にコントロールする必要が出てきましたが、それに使用される圧電素子の変位測定は開発の重要なテーマとなっています。 ヘテロダイン方式レーザ変位計ST-3761は、最高分解能20pm、という超高分解能を実現して、ナノメートル計測を容易に実現しました。これにより、あらゆる分野の微少変位、振動解析への貢献が期待できます。 さらに、静止状態からの測定が可能で、圧電素子の測定に絶対的な強みを発揮します。

機器の概要

★センサヘッド、信号処理部本体、接続ケーブル

ST-3761の特長

	静止状態（DC）から広帯域2.3MHzまでの振動測定が可能
	ステップ状に変化する変位の測定が忠実、かつ容易に測定できますので、圧電素子の変位測定に絶大な威力を発揮します。 低周波から高周波まで、連続的に変化する変位も安定して測定できます。
	最高20pmの高分解能です
	ST-3761は変位出力に14ビットD/A変換器を使用、最高感度レンジで20pmという高分解能です。ナノメートル・オーダの振動・変位を容易に測定できます。
	作動距離30mm
	離れたところから測定できます。測定に自由度が増しました。
	スポット径50μm
	マイクロマシンなどの測定にも余裕を持って対応できます。
	小型センサ
	半導体レーザの周波数変調を採用することにより、センサ部を小型化しました。 これにより、取り付けの自由度が大きく広がりました。
	ノイズの影響を受けません
	ヘテロダイン方式を採用したことにより、原理的に外来の光成分（ノイズ）の影響を受けにくくなっています。

光ヘテロダイン方式について

ST-3761に採用した光ヘテロダイン方式は、わずかに周波数が異なる信号光と、参照光のレーザﾞ光を重ね合わせて、そのビート（うなり）信号を検出する測定手法です。 光ヘテロダイン方式は、安定したレーザ光波長を基準に変位量を測定するため、他のレーザ光を使用する三角測量方式、共焦点方式など変位測定方式に比べ、分解能、確度が遥かに有利な方式です。

ST-3761外観

標準価格

へテロダイン方式レーザ変位計　ST-3761

2,780,000円（税込み 2,919,000円）

販売見通し

ST-3761

90台/　年

発売時期と出荷開

● 発売日	4月14日
● 出荷開始	4月17日

ST-3761　製品紹介

お問い合わせ先

■　お客様 岩通計測株式会社　営業部 〒168-8511　東京都杉並区久我山１－７－４１ 電話： 03-5370-5474　　FAX： 03-5370-5492

■　報道関係者 岩通計測株式会社　広報宣伝担当 〒168-8511　東京都杉並区久我山１－７－４１ 電話： 03-5370-5474　　FAX： 03-5370-5492