レーザドップラ振動計 V100シリーズ アプリケーション (製造元:電子技研工業株式会社)

非接触変位計・厚さ計カタログPDF
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非接触変位計・厚さ計
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弾性波の振動測定

非破壊検査分野でよく用いられる弾性波の測定例です。
左図では、被測定物に金属(黄銅)を使用しています。
黄銅の端部をソレノイド式励振器を用いて励振し、黄銅を伝播してきた弾性波をレーザドップラ振動計で測定しています。

測定ポイントを移動させて多点測定を行うことで、移動距離と遅れ時間より弾性波の伝播速度を測定したり、被測定物内部の状態を測定することにも用いられます。

励振器について、打撃による直接的な方法の他、別途パルス式YAGレーザを使用することで、完全非接触で被測定物を励振することもできます。

【写真】弾性波の振動測定 【グラフ】弾性波の振動測定グラフ

ハードディスクドライブ(HDD)の振動測定

ハードディスクドライブ(HDD)のフライングヘッドの測定例です。
ディスクが回転している時の測定を行いました。

測定結果の一例を示します。
上段が振動変位、下段がFFTによるパワースペクトルです。
モータの回転数(5,400rpm)を示す周波数(90Hz)のピークとその高調波を確認することが出来ます。

【写真】HDDフライングヘット部
【グラフ】HDDフライングヘット部振動測定

水晶振動子(圧電素子)の振動測定

振動周波数40kHzタイプの水晶振動子(圧電素子)の電極部にレーザ光を照射し、ピンポイントで振動波形を測定。
レーザドップラ振動計を使用することで、レーザ光の光軸方向の振動成分を、高い空間分解能で測定できます。

写真1のレーザ照射ポイントで、速度4mm/s(0-peak)(=変位16nm(0-peak))の振動波形を測定。(グラフ参照)

照射ポイントをスキャンさせることにより、振動分布の測定も可能です。

【写真】水晶振動子 【グラフ】晶振動子(圧電素子)の振動測定グラフ

光ピックアップのサーボ解析

レンズの中心表面にレーザ光を照射し、光ピックアップのフォーカス方向(写真の上下方向)のサーボ特性を解析します。
光ピックアップのコントロールには、FFTの信号出力を利用し、100kHzまでの広帯域の解析を行いました。

 

【写真】HDD光ピックアップ部
【グラフ】伝達特性(位相)

伝達特性(位相)

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