| 項目 |
性能 |
| システム構成 |
ST-3541（2 台）、ST-0403-xxx（2 本）、ST-3540（1 台）、VOAC7521A（1 台） |
| 測定方式 |
静電容量方式 |
| 被測定物 |
シリコンウェハ、金属、半導体 |
| 厚さ計測範囲 |
1μｍ～ 99.9999ｍｍ （基準材料± センサ測定範囲）
※( 例) ST-0403-500 プローブ使用: 基準500μm の場合、500±200μm になります。 |
センサ部基本性能
（ST-3541）
（ST-3540）
（ST-0403-xxx） |
| 試料からのギャップ |
測定範囲 |
最高分解能 |
直線性 |
使用プローブ |
| 200μm |
±80μm |
3nm |
0.1% |
ST-0403-200 |
| 500μm |
±200μm |
5nm |
0.1% |
ST-0403-500 |
| 1000μm |
±400μm |
10nm |
0.2% |
ST-0403-1000 |
|
| ※ |
試料からのギャップとは、測定試料からのプローブまでの設定距離です。 |
| ※ |
測定範囲はどれか一つのみが選択可能です。（システムは指定値により調整・出荷されます） |
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表示部性能
（VOAC7521A） |
| 表示 |
（測定結果はスケーリング演算後VOAC7521A に表示されます） |
| 測定厚さ” X ” |
最大表示 |
備考 |
| 1μm =< X < 10μm |
9. 99999〔μ〕 |
| ※ |
測定厚さとはスケーリング演算後の実際の測定厚さです。 |
| ※ |
有効な表示分解能はセンサ部の最高分解能によって制限されます。 |
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| 10μm =< X < 100μm |
99. 9999〔μ〕 |
| 100μm =< X < 1mm |
999. 999〔μ〕 |
| 1mm =< X < 10mm |
9. 99999〔m〕 |
| 10mm =< X < 100mm |
99. 9999〔m〕 |
|
|
| |
単位 |
[μｍ] は、μで表示。 [ｍｍ] は、ｍで表示。 |
| 表示周期 |
約4 回／秒 （約20 回／秒に切り換え可能） |
| 機能 |
スケーリング演算、相対値演算、コンパレータ演算、統計演算(MAX、MIN）、平均 |
| 外部インターフェース |
標準：RS-232C オプション：GP-IB、イーサネット、デジタルI/O、RS-USB 変換 |
| 電源 |
AC100V （ST-3540、VOAC7521A） オプション：（AC110V、220V、240V） |
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周波数 |
50/60Hz |
| |
消費電力 |
最大30VA （ST-3540)、 最大21VA （VOAC7521A) |
| 使用温湿度範囲 |
0℃～ 40℃ 80%RH 以下 （ST-3541、ST-3540、VOAC7521A） |
| 大きさ・質量 |
| ST-3541 |
約110（W）× 35（H）× 140（L）[ｍｍ] |
約0.4kg |
| ST-3540 |
約110（W）× 110（H）× 180（L）[ｍｍ] |
約1.8kg |
| VOAC7521A |
約210（W）× 99（H）× 353（L）[ｍｍ] |
約3.5kg |
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