ヘテロダイン方式レーザ変位計 ST-3761

測定物の移動で生じたドップラ周波数から得られる速度信号を積分して変位を求める方式とは異なり、DCから周波数応答がありステップ状に変化する変位も正確に測定できるのが特長です。方形波で駆動される圧電素子の測定などに威力を発揮します。また高速デジタル信号処理の採用により、2.3MHzまでの超広帯域の変位測定が可能です。

光ヘテロダイン方式は干渉ビート信号から変位を求めます。この 干渉ビート信号からの変位検出にデジタル信号処理を採用し、最高感度レンジで20pmの分解能があります。これによりナノメートルオーダの振動・変位測定が容易になります。

半導体レーザの直接周波数変調方式の採用により、センサ部を小型化しました。これにより取り付けの自由度が大きく広がりました。

光ヘテロダイン方式はセンサが出射した光のみに応答する干渉計方式のため、原理的に外部から入る照明や太陽光など外乱（ノイズ）の影響を受けにくくなっています。

光ヘテロダイン方式では基準となるレーザ光の波長が安定していることが必要です。半導体レーザの発振波長には温度依存性があり温度変化の影響を受けますが、これを精密な温度制御により安定化することにより、環境温度変化による変位測定値のドリフトを防止しています。