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ヘテロダイン方式レーザ変位計 ST-3761 性能

非接触変位計・厚さ計カタログPDF
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ヘテロダイン方式レーザ変位計カタログの詳細版PDF
ST-3761詳細カタログ(1,577KB)

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仕様

測定方式 FM変調光ヘテロダイン干渉方式
光源 半導体レーザ 発振波長:約670nm
最大出力:0.95mW以下(レーザ安全クラス2)
スポット径:70μm以下(半値幅の焦点位置にて)
作動距離 約50mm(センサヘッド光出力端面-被測定物)
測定範囲 ±50μm
変位
出力
接続コネクタ BNC
出力信号 下記①と②をMODEスイッチで切替
①バーニア(VERNIER):1/2波長で折返された変位信号出力
②変位(DISPLACEMENT):変位波形全体を表示
測定レンジ 0.1、0.2、0.5、1、2、5、10、20、50μm/V
ローパスフィルタ OFF、2kHz、20kHz
出力DA変換器 14ビット
出力フルスケール:0V~+3.35V(レーザ波長670nmの場合)
最高分解能:0.02nm(測定レンジ0.1μm/Vの場合)
最高応答速度 0.785m/s(周波数250kHz、振幅1μmp-p正弦波の周波数・速度積相当の信号を測定可能)
変位分解能 (出力ノイズrms値、測定レンジ0. 1μ m/Vでの参考値) 1nm(ローパスフィルタOFF、測定帯域2.5MHz)
0.5nm(ローパスフィルタOFF、測定帯域100kHz)
0.3nm(ローパスフィルタ20kHz)
0.2nm(ローパスフィルタ2kHz)
性能保証温湿度範囲 +18℃~+28℃、80%RH以下(結露なきこと)
動作温湿度範囲 +13℃~+33℃、80%RH以下(結露なきこと)
保存温湿度範囲 -10℃~+50℃、80%RH以下(本体及びケーブル、結露なきこと)
+10℃~+35、60%RH以下(センサヘッド、結露なきこと)
電源電圧・電源周波数 AC90V~AC110V、50/60Hz
消費電力 110VA MAX(AC100V、50Hzにて)
外形寸法 センサ部 61.6W×116.8D×37H mm、公差±2mm
本体部 250W×350D×150H mm、公差±2mm
センサケーブル長 1500mm、公差±50mm
質量 本体 約7kg
センサヘッド 約0.45kg
構成品 センサヘッド×1、センサケーブル×1
付属品 電源コード×1、取扱説明書×1、レーザ電源キー×2

測定振幅範囲と周波数の関係

【図】測定振幅範囲と周波数の関係

ST-3761が測定できる周波数帯域幅は2.3MHzですが、測定できる周波数と振動振幅の積は、レーザの変調周波数や処理系の能力に応じて上限があります。ST-3761では図のように0.785m/sまでの速度で振動する物体まで測定できます。この図から振動周波数25kHzでは、振幅10μm(正弦波p-p値)まで、250kHzでは1μm(正弦波p-p値)まで測定できることがわかります。

*ST-3761は、外国為替および外国貿易法の規定により規制貨物(または技術)に該当しますので、輸出する場合は日本政府の輸出許可が必要です。