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ヘテロダイン方式レーザ変位計 ST-3761 性能
仕様
| 測定方式 | FM変調光ヘテロダイン干渉方式 | |
|---|---|---|
| 光源 | 半導体レーザ | 発振波長：約670nm |
| 最大出力：0.95mW以下（レーザ安全クラス2） | ||
| スポット径：70μm以下（半値幅の焦点位置にて） | ||
| 作動距離 | 約50mm（センサヘッド光出力端面-被測定物） | |
| 測定範囲 | ±50μm | |
| 変位 出力 |
接続コネクタ | BNC |
| 出力信号 | 下記①と②をMODEスイッチで切替 | |
| ①バーニア（VERNIER）：1/2波長で折返された変位信号出力 | ||
| ②変位（DISPLACEMENT）：変位波形全体を表示 | ||
| 測定レンジ | 0.1、0.2、0.5、1、2、5、10、20、50μm/V | |
| ローパスフィルタ | OFF、2kHz、20kHz | |
| 出力DA変換器 | 14ビット | |
| 出力フルスケール：0V～+3.35V（レーザ波長670nmの場合） | ||
| 最高分解能：0.02nm（測定レンジ0.1μm/Vの場合） | ||
| 最高応答速度 | 0.785m/s（周波数250kHz、振幅1μmp-p正弦波の周波数・速度積相当の信号を測定可能） | |
| 変位分解能 （出力ノイズrms値、測定レンジ0. 1μ m/Vでの参考値） | 1nm（ローパスフィルタOFF、測定帯域2.5MHz） | |
| 0.5nm（ローパスフィルタOFF、測定帯域100kHz） | ||
| 0.3nm（ローパスフィルタ20kHz） | ||
| 0.2nm（ローパスフィルタ2kHz） | ||
| 性能保証温湿度範囲 | +18℃～+28℃、80%RH以下（結露なきこと） | |
|---|---|---|
| 動作温湿度範囲 | +13℃～+33℃、80%RH以下（結露なきこと） | |
| 保存温湿度範囲 | -10℃～+50℃、80%RH以下（本体及びケーブル、結露なきこと） | |
| +10℃～+35、60%RH以下（センサヘッド、結露なきこと） | ||
| 電源電圧・電源周波数 | AC90V～AC110V、50/60Hz | |
| 消費電力 | 110VA MAX（AC100V、50Hzにて） | |
| 外形寸法 | センサ部 | 61.6W×116.8D×37H mm、公差±2mm |
| 本体部 | 250W×350D×150H mm、公差±2mm | |
| センサケーブル長 | 1500mm、公差±50mm | |
| 質量 | 本体 | 約7kg |
| センサヘッド | 約0.45kg | |
| 構成品 | センサヘッド×1、センサケーブル×1 | |
| 付属品 | 電源コード×1、取扱説明書×1、レーザ電源キー×2 | |
測定振幅範囲と周波数の関係
ST-3761が測定できる周波数帯域幅は2.3MHzですが、測定できる周波数と振動振幅の積は、レーザの変調周波数や処理系の能力に応じて上限があります。ST-3761では図のように0.785m／sまでの速度で振動する物体まで測定できます。この図から振動周波数25kHzでは、振幅10μm（正弦波p-p値）まで、250kHzでは1μm（正弦波p-p値）まで測定できることがわかります。
*ST-3761は、外国為替および外国貿易法の規定により規制貨物（または技術）に該当しますので、輸出する場合は日本政府の輸出許可が必要です。
