ヘテロダイン方式レーザ変位計 ST-3761 測定例

積層圧電アクチュエータは圧電効果を利用して電気エネルギーを機械的な変位・力に変換する素子で精密位置決めなどの用途に使用されます。方形波電圧波形を素子に印加して、縦方向に振動させて、その変位量をヘテロダイン方式レーザ変位計ST-3761で検出し、オシロスコープで波形表示しています。ST-3761ではDCからの周波数応答特性によりステップ応答が正確に測定できます。

この測定例では圧電アクチュエータを使用した精密ステージを、1nmステップで移動するように階段波状の信号で駆動したものです。測定例ではST-3761の測定レンジが0.1μm/Vで、変位波形の10mVが1nmに相当し、駆動波形に従ってステージが1nmづつ階段状に移動する様子がわかります。ST-3761の測定レンジ0.1μm/VでのDA変換器の分解能は20pmであり、サブナノメートルの変位量まで容易に識別できます(ローパスフィルタ2kHz)。