本機は光源として可視LD、受光素子としてPSDを用いた三角測距方式による非接触レーザ変位計です。測定対象は主に鏡面か鏡面に近い物ですが、金属の他ガラスや液面等も含まれ幅広く対応できます。スポット径が小さく、応答速度が高速ですので、ディスクやその他の回転体の芯振れ、面振れ、振動測定の他、加速度計と組み合わせて回転面の加速度測定や傷検出、表面粗さ判定などにも応用できます。

特長

	0.1μmの高分解能です
	設定距離を10mmと離すことができます
	応答周波数が最高20kHzと高速です
	可視LD（670nm）を使用していますので測定点を目視確認できます
	センサ部が小型軽量ですので取り付けが容易です
	受光量によるLD出力自動制御方式ですので操作が簡単です

性能

測定方式 レーザ三角測距方式 被測定物 原則として鏡面又は鏡面に近い物（反射効率の良い乱反射面可） 設定距離 10mm（投光面：20mm） 測定範囲 ±220μm 感度 10mV/μm 確度 ±1.6μm（23±5℃、80％R.H） 分解能 0.1μm FILTER2（5kHz LPF）にて 0.3μm FILTER1（約20kHz）にて 周波数帯域幅 DC～約20kHz（－3dB） 表示 デジタル表示：41/2桁デジタルボルトメータ、単位μm、表示回数　2.5回／秒 モニタ表示：LED（LASER、DARK、NORM、OVER） センサ部光軸 投光素子／投光角度：LD（半導体レーザ）／45度 受光素子／受光角度：PSD（位置検出センサ）／45度 有効反射：乱反射及び正反射 使用LD 波 長：670nm 出 力：3mW MAX.可変可能、対受光量APC付き スポット：約φ0.1mm（設定中心にて） 出力 出力範囲：0～±2.5V（10mV/μm） ゼロ点可変範囲：±5V 出力フィルタ： AC結合 　1kHz（HPF） DC結合1　約20kHz DC結合2　5kHz（LPF） DC結合3　10Hz（LPF） 出力抵抗：約50Ω 電源 AC100V±10％、50/60Hz、約11W 環境条件 0～40℃、85％R.H以下 大きさ・質量 センサ部：約90W×86H×30L（mm）　約220g 本体部：約80W×170H×304L（mm）　約2.3kg ケーブル：センサケーブル約3m、電源ケーブル約3m センサ部外観

HD等回転体の面振れ測定の応用例

HDの面振れ測定データ例