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静電容量方式変位計 ST-3572
特長
高速応答
DC~10kHz
極細径プローブにより、小さなターゲットの変位が測定できます。
(極細径プローブの測定電極径Φ0.1mm)
- ■スイッチにより帯域幅の切換えができます。
- ■磁界や磁性体の影響を受けず、全ての金属に対して同一条件で測定ができます。
変位と出力電圧の関係
ST-0705G使用時の特性

性能
(標準プローブST-0705G使用の場合の性能です)
| 測定方式 | 静電容量方式 | |
|---|---|---|
| 測定範囲 | 150±100μm | |
| 出力電圧 | +10V~-10V(F.S) | |
| 感度 | 0.1V/μm | |
| 確度 | ±2%F.S(23±5℃、80%R.H) | |
| オフセット機能 | 約±10%(F.S) | |
| 周波数帯域幅 | DC~10kHz(-3dB)(但し、約5kHz、2kHz、1kHz、100Hzに切換え可能) | |
| 出力抵抗 | 77Ω±20% | |
| 電源 | 電圧 | AC90V~250V 50/60Hz |
| 消費電力 | 60VA MAX | |
| 使用温湿度範囲 | 0~40℃、85%R.H以下 | |
| 大きさ | 約80W×170H×320L(mm) | |
| 質量 | 約3kg | |
| 付属品 | 電源コード(1)、ヒューズ(2)、同軸ケーブル(1)、アースリード(1)、取扱説明書(1) | |
| 表示 | オーバーレンジ表示 | |
プローブ別性能表
| 型 名 | 電極径 [mm] | 測定範囲 [um] | 分解能(BW=10kHz) [nm p-p] | 確度 [%] | 外形寸法 |
|---|---|---|---|---|---|
| ST-0705G | Φ0.5 | 150±100 | 50 | 2 | (Φ1.5×20)+(Φ8×10)+(Φ16×74)mm |
| ST-0705A | Φ0.5 | 100±25 | 15 | 2 | (Φ1.5×10)+(Φ8×10)+(Φ16×74)mm |
| ST-0705A□※ | 100±50 | 30 | 2 | ||
| ST-0705A□※ | 150±100 | 50 | 2 | ||
| ST-0705A□※ | 400±250 | 250 | 2 | ||
| ST-0702A | Φ0.2 | 75±25 | 25 | 2 | (Φ1×5)+(Φ2.1×5)+(Φ8×10)+(Φ16×74)mm |
| ST-0702A□※ | 100±50 | 70 | 2 | ||
| ST-0701A | Φ0.1 | 75±50 | 80 | 2 | (Φ1×5)+(Φ2.1×5)+(Φ8×12)+(Φ16×74)mm |
- ケーブル長は1.5mです。
- ※は、特注対応品です。
- 表中の□には測定範囲を識別する数字が入ります。
- プローブは本体と指定組合せです。測定範囲の変更は特注となります。
カタログ以外の特別仕様の設計・製作もいたします。
プローブは別売となります。
*ST-3572は、外国為替および外国貿易法の規定により規制貨物(または技術)に該当しますので、輸出する場合は日本政府の輸出許可が必要です。



