静電容量方式変位計 ST-3572

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高速応答10kHz Φ0.2mmから測定

ST-3572は、ST-3512と同様に、プローブ内に回路を 有した「アクティブ型」を採用しています。

特に、極細径プローブにより、小さなターゲットで高速回転するディスクや精密モータ、スピンドルまたは高速振動体などの測定に最適です。

【写真】ST-0705G使用例

3.5インチHDDスピンドルモーターの測定
(ST-0705G使用例)

特長

高速応答

DC~10kHz
極細径プローブにより、小さなターゲットの変位が測定できます。
(極細径プローブの測定電極径Φ0.1mm)

  • ■スイッチにより帯域幅の切換えができます。
  • ■磁界や磁性体の影響を受けず、全ての金属に対して同一条件で測定ができます。

変位と出力電圧の関係

ST-0705G使用時の特性

【図】ST-0705G使用時の特性

性能

(標準プローブST-0705G使用の場合の性能です)

測定方式 静電容量方式
測定範囲 150±100μm
出力電圧 +10V~-10V(F.S)
感度 0.1V/μm
確度 ±2%F.S(23±5℃、80%R.H)
オフセット機能 約±10%(F.S)
周波数帯域幅 DC~10kHz(-3dB)(但し、約5kHz、2kHz、1kHz、100Hzに切換え可能)
出力抵抗 77Ω±20%
電源 電圧 AC90V~250V 50/60Hz
消費電力 60VA MAX
使用温湿度範囲 0~40℃、85%R.H以下
大きさ 約80W×170H×320L(mm)
質量 約3kg
付属品 電源コード(1)、ヒューズ(2)、同軸ケーブル(1)、アースリード(1)、取扱説明書(1)
表示 オーバーレンジ表示

プローブ別性能表

型 名 電極径 [mm] 測定範囲 [um] 分解能(BW=10kHz) [nm p-p] 確度 [%] 外形寸法
ST-0705G Φ0.5 150±100 50 2 (Φ1.5×20)+(Φ8×10)+(Φ16×74)mm
ST-0705A Φ0.5 100±25 15 2 (Φ1.5×10)+(Φ8×10)+(Φ16×74)mm
ST-0705A□※ 100±50 30 2
ST-0705A□※ 150±100 50 2
ST-0705A□※ 400±250 250 2
ST-0702A Φ0.2 75±25 25 2 (Φ1×5)+(Φ2.1×5)+(Φ8×10)+(Φ16×74)mm
ST-0702A□※ 100±50 70 2
ST-0701A Φ0.1 75±50 80 2 (Φ1×5)+(Φ2.1×5)+(Φ8×12)+(Φ16×74)mm
  • ケーブル長は1.5mです。
  • ※は、特注対応品です。
  • 表中の□には測定範囲を識別する数字が入ります。
  • プローブは本体と指定組合せです。測定範囲の変更は特注となります。

カタログ以外の特別仕様の設計・製作もいたします。
プローブは別売となります。

*ST-3572は、外国為替および外国貿易法の規定により規制貨物(または技術)に該当しますので、輸出する場合は日本政府の輸出許可が必要です。