静電容量方式変位計 ST-3572 

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高速応答10kHz Φ0.2mmから測定

ST-3572は、ST-3512と同様に、プローブ内に回路を 有した「アクティブ型」を採用しています。

特に、極細径プローブにより、小さなターゲットで高速回転するディスクや精密モータ、スピンドルまたは高速振動体などの測定に最適です。

【写真】ST-0705G使用例

3.5インチHDDスピンドルモーターの測定
(ST-0705G4使用例)

特長

高速応答

DC~10kHz
極細径プローブにより、小さなターゲットの変位が測定できます。
(極細径プローブの測定電極径Φ0.1mm)

  • ■金属・導体・半導体等の測定に最適
  • ■磁界や磁性体の影響を受けず、全ての金属に対して同一条件で測定ができます。
  • ■ワイドレンジ対応可能 最大 10mm

変位と出力電圧の関係

ST-0705G4使用時の特性

【図】ST-0705G使用時の特性

性能

(標準プローブST-0705G4使用の場合の性能です)

測定方式 静電容量方式
測定範囲 150±100μm
出力電圧 +10V~-10V(F.S)
感度 0.1V/μm
確度 ±2%F.S(23±5℃、80%R.H)
オフセット機能 約±10%(F.S)
周波数帯域幅 DC~10kHz(-3dB)(但し、約5kHz、2kHz、1kHz、100Hzに切換え可能)
出力抵抗 77Ω±20%
電源 電圧 AC90V~250V 50/60Hz
消費電力 60VA MAX
使用温湿度範囲 0~40℃、85%R.H以下
大きさ 約80W×170H×320L(mm)
質量 約3kg
付属品 電源コード(1)、ヒューズ(2)、同軸ケーブル(1)、アースリード(1)、取扱説明書(1)
表示 オーバーレンジ表示

プローブ別性能表

ストレートタイプ 形 式 測定範囲 [μm] 分解能(BW=10kHz)[μm rms] 確度
[%F.S]
プローブ電極径 [mm] プローブヘッド寸法図 プローブケーブル長 [m]
本 体 プローブ
ST-3572 ST-0701A3 75±50 0.02 ±2 Φ0.1 S-6 1.5
ST-0702A2 100±50 0.006 ±2 Φ0.2
ST-0705G3 100±50 0.003 ±2 Φ0.5 S-1
ST-0705G4 150±100 0.006 ±2
ST-0705G5 400±250 0.03 ±2
ST-0710A 500±250 0.035 ±2 Φ1.0 S-7 3.0
ST-0710A2 750±500 0.08 ±2
ST-0717A 1500±1000 0.15 ±2 Φ1.7 S-3
ST-0755A 6000±2000 0.3 ±2 Φ5.5 S-5
ST-07130A 15000±5000 0.5 ±2 Φ13 S-8
45°カットタイプ 形 式 測定範囲 [μm] 分解能(BW=10kHz)[μm rms] 確度
[%F.S]
プローブ電極径 [mm] プローブヘッド寸法図 プローブケーブル長 [m]
本 体 プローブ
ST-3572 ST-0702C2 100±50 0.006 ±2 Φ0.2 C-3 1.5
ST-0705M3 100±50 0.003 ±2 Φ0.5 C-1
ST-0705M4 150±100 0.006 ±2
ST-0705M5 400±250 0.03 ±2
ST-0710B 500±250 0.035 ±2 Φ1.0 C-4 3.0
ST-0710B2 750±500 0.08 ±2
ST-0717B 1500±1000 0.15 ±2 Φ1.7 C-2
  • 各プローブの形状は下記をご覧ください。(プローブヘッド寸法図Noをご参照ください)

ST-3572用プローブ寸法図

【図】ストレートタイプ プローブヘッド寸法図[mm]

【図】45°カットタイプ プローブヘッド寸法図[mm]

*ST-3572は、外国為替および外国貿易法の規定により規制貨物(または技術)に該当しますので、輸出する場合は日本政府の輸出許可が必要です。