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高分解能0.3nm-rms 高安定 小型プローブ

ST-3541は、プローブ内に回路を内蔵していない「パッシブ型」を採用しています。このため、安定性を大きく向上させています。さらに、回路部品がないため小型化がはかれ、組み込みに最適な構造となっています。
ナノメートルの変位測定や、精密ステージの位置検出・姿勢制御、平面度、厚み測定に最適です。

【写真】各種プローブ

各種プローブ

特長

卓越した高安定

下図は25℃に設定された恒温槽内における安定度の測定例です。
12時間という長時間にわたり、安定した測定が行われているのが分かります。

【図】ST-3541+ST-0403-100 安定度データ

高分解能測定を実現

最高分解能0.3nm-rms
下図は圧電素子を階段状の電気信号で駆動させ、その変位を測定したものです。
1nmという小さなステップ信号でも良好に応答確認ができます。

  • 1nmステップ
    階段波形:周波数0.15Hz ステップ幅1nm。
    帯域設定:100Hz

【図】圧電素子を階段状の電気信号で駆動させ、その変位を測定

優れた直線性 0.05%

リニアライザを必要としない、測定方式を用いることで、優れた直線性を実現しました。

  • 小形プローブで取り付けがいっそう簡単に
    プローブ本体に回路を内蔵していないので、大幅な小型化が図れました。
    これにより、測定システムへの組み込みの自由度が大きく広がりました。
  • 専用接続ケーブルでチャネル間の同期が可能に
    複数台を使用するときも、チャネル間を接続することにより、同期運転が可能になりました。同期運転は、チャネル間の干渉を防ぎ、測定結果の安定化が図れます。
  • システム構築のコスト低減が図れます。
    複数チャネル使用時は、必要に応じた電源供給のみで増設が可能なため、システム構築のコスト低減が図れます。

真空中での測定が可能

真空対応特注プローブを用いることにより、真空中での変位測定が可能になります。

【図】真空対応特注プローブ

応用分野

  • 半導体・精密加工・顕微鏡などの精密位置決め、位置検出、姿勢制御
  • 圧電素子などの振動、振幅測定
  • シリコンウェハ・金属板、精密加工部品などの平面度、厚み測定
  • 精密モータなどの軸振れ、面振れ、真円度測定
  • ナノメートルの変位測定

*ST-3541は、外国為替および外国貿易法の規定により規制貨物(または技術)に該当しますので、輸出する場合は日本政府の輸出許可が必要です。
製品改良等により、外観および性能の一部を予告なく変更することがあります。