静電容量方式変位計 ST-3541 性能

	項目	性能
ST-3541	測定方式	静電容量方式
	測定範囲	50±25μm、100±50μm、200±100μm、500±250μm
	測定範囲	測定レンジにより別表プローブ１種類のみを選択する（本体と組み合わせ調整）
	出力電圧	＋10 ～－10V（フルスケール）
	周波数帯域	DC～1kHz（-3dB）（約5kHz 、100Hz、10Hzに切換え可能）
	同期運転	ST-3540 1台との組み合わせで3台までの同期運転可能
	大きさ・質量	約110（W）×35（H）×140（L）〔突起部を除く〕 mm 約0.4kg
	電源	ST-3540を使用又は外部電源±15V供給（消費電流120mA以下）
	使用温湿度範囲	0℃ ～ 40℃　80％RH以下

	項目	性能
ST-3540	機能	電源供給、同期信号供給、出力電圧モニタ
	変位計接続	変位計ST-3541を3台まで接続可能CH-A、CH-B、CH-C（D-SUB9pin ×3）
	表示部	4桁半赤色LED（変位計出力電圧＋オフセット電圧）をデジタル表示
		有効表示範囲：±10.300
		表示電圧確度：±0.2%±5カウント（選択chに接続されたST-3541出力電圧との差）
		表示選択：A、B、C、A+B、A-B
		オフセット：±4.999Vまでオフセットをかけることが可能
	モニタ出力	表示選択された信号を背面から出力（アナログ電圧）
		出力電圧確度：±0.1%±2mV（選択chに接続されたST-3541出力電圧との差）
		最大周波数帯域　1kHz（本体側のフィルタ設定に依存）
	同期運転	ST-3540 2台の同期が可能（合計でST-3541×6台のシステムが可能）
	大きさ・質量	約110（W）×110（H）×180（L）〔突起部を除く〕 mm 約1.8kg
	電源電圧	AC100V/110/220/240V　50/60Hz 電圧設定は工場オプションによる
	消費電力	最大30VA
	動作温湿度範囲	0℃～40℃　80％RH以下

プローブ別性能表

型　名	電極径 [mm]	測定範囲 [um]	分解能（BW=1kHz） [nm rms]	直線性[％]
ST-0403-50	5.0	50±25	0.3	0.10
ST-0403-100		100±50	1	0.05
ST-0403-200		200±100	3	0.05
ST-0403-500		500±250	12	0.05
ST-0402-50	2.5	50±25	1	0.10
ST-0402-100		100±50	3	0.05
ST-0402-200		200±100	8	0.05
ST-0402-500		500±250	50	0.05
ST-0401-50	1.0	50±25	4	0.10
ST-0401-100	1.0	100±50	15	0.05