静電容量方式変位計 ST-3541 性能

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非接触変位計・厚さ計
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静電容量方式変位計カタログの詳細版PDF
ST-3541詳細カタログ(985KB)

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主な仕様

変位計ST-3541

  項目 性能
ST-3541 測定方式 静電容量方式
測定範囲 50±25μm、100±50μm、200±100μm、500±250μm
測定レンジにより別表プローブ1種類のみを選択する(本体と組み合わせ調整)
出力電圧 +10 ~ -10V(フルスケール)
周波数帯域 DC~1kHz(-3dB)(約5kHz 、100Hz、10Hzに切換え可能)
同期運転 ST-3540 1台との組み合わせで3台までの同期運転可能
大きさ・質量 約110(W)×35(H)×140(L) 〔突起部を除く〕 mm 約0.4kg
電源 ST-3540を使用 又は 外部電源±15V供給(消費電流120mA以下)
使用温湿度範囲 0℃ ~ 40℃ 80%RH以下

表示ユニットST-3540

  項目 性能
ST-3540 機能 電源供給、同期信号供給、出力電圧モニタ
変位計接続 変位計ST-3541を3台まで接続可能CH-A、CH-B、CH-C(D-SUB9pin ×3)
表示部 4桁半 赤色LED( 変位計出力電圧+オフセット電圧)をデジタル表示
有効表示範囲:±10.300
表示電圧確度:±0.2%±5カウント(選択chに接続されたST-3541出力電圧との差)
表示選択:A、B、C、A+B、A-B
オフセット:±4.999Vまでオフセットをかけることが可能
モニタ出力 表示選択された信号を背面から出力(アナログ電圧)
出力電圧確度:±0.1%±2mV(選択chに接続されたST-3541出力電圧との差)
最大周波数帯域 1kHz(本体側のフィルタ設定に依存)
同期運転 ST-3540 2台の同期が可能(合計でST-3541×6台のシステムが可能)
大きさ・質量 約110(W)×110(H)×180(L) 〔突起部を除く〕 mm 約1.8kg
電源電圧 AC100V/110/220/240V 50/60Hz 電圧設定は工場オプションによる
消費電力 最大30VA
動作温湿度範囲 0℃~40℃ 80%RH以下

プローブ別性能表

型 名 電極径 [mm] 測定範囲 [um] 分解能(BW=1kHz) [nm rms] 直線性[%]
ST-0403-50 5.0 50±25 0.3 0.10
ST-0403-100 100±50 1 0.05
ST-0403-200 200±100 3 0.05
ST-0403-500 500±250 12 0.05
ST-0402-50 2.5 50±25 1 0.10
ST-0402-100 100±50 3 0.05
ST-0402-200 200±100 8 0.05
ST-0402-500 500±250 50 0.05
ST-0401-50 1.0 50±25 4 0.10
ST-0401-100 100±50 15 0.05

※プローブの仕様変更についても柔軟に対応させて頂きます。プローブは、別売りです。

プローブ外形寸法表

【図】プローブ外形寸法表

*ST-3541は、外国為替および外国貿易法の規定により規制貨物(または技術)に該当しますので、輸出する場合は日本政府の輸出許可が必要です。
製品改良等により、外観および性能の一部を予告なく変更することがあります。