静電容量方式変位計 ST-3512(販売終了)

高速応答40kHz(オプション100kHz)

ST-3512はプローブ内に回路を有した「アクティブ型」を採用しています。このため高速に応答できます。
ナノメートルの変位や振動測定、圧電素子、超音波振動子、高速・高精度モータ・エアスピンドルモータ・精密加工機器等の回転体、振動、変位測定に最適です。

特長

高速応答

DC~40kHz(オプション100kHz)

  • ■金属・導体・半導体等の測定に最適
  • ■磁界や磁性体の影響を受けず、どの金属に対しても同一条件で測定ができます。
  • ■高分解能2.5nm rms(10kHz時)

変位と出力電圧の関係

ST-0535A5使用時の特性

【図】ST-0535A3使用時の特性

オプション

  • プローブ各種
  • 周波数帯域拡大100kHz

性能

(標準プローブST-0535A5使用の場合の性能です)

測定方式 静電容量方式
測定範囲 50±25μm
出力電圧 +10V~-10V(F.S)
感度 0.4V/μm
確度 ±1%F.S(23±5℃、80%R.H)
分解能 2.5nm rms(10kHz)
周波数帯域幅 DC~40kHz(-3dB)(但し、約10kHz、1kHz、100Hzに切換え可能)
出力抵抗 約50Ω
電源 電圧 AC100V±10% 50/60Hz
消費電力 9W±20%(AC100Vのとき)
使用温湿度範囲 0~50℃、85%R.H以下
大きさ 約80W×170H×304L(mm)
質量 約2.8kg
付属品 同軸ケーブル(1)、電源コード(1)、取扱説明書(1)

詳細 回転体の評価方法 ダウンロード

プローブ別性能表

ストレートタイプ 形 式 測定範囲 [μm] 分解能(BW=10kHz)[μm rms] 確度
[%F.S]
プローブ電極径 [mm] プローブヘッド寸法図 プローブケーブル長 [m]
本 体 プローブ
ST-3512 ST-0538XG 50±25 0.005 ±2 Φ0.5 S-1 1.5
ST-0538XG2 75±50 0.008 ±2
ST-0535A5 50±25 0.0025 ±1 Φ1.2 S-2
ST-0535A6 100±50 0.004 ±1
ST-0533B2 100±50 0.003 ±2 Φ1.7 S-3
ST-0533B3 200±100 0.02 ±2
ST-0533B4 400±250 0.06 ±2
ST-0532A4 100±50 0.003 ±1 Φ1.8 S-4
ST-0532A5 200±100 0.02 ±1
ST-0532A6 400±250 0.06 ±1
ST-0541A2 1000±500 0.04 ±1 Φ5.5 S-5
45°カットタイプ 形 式 測定範囲 [μm] 分解能(BW=10kHz)[μm rms] 確度
[%F.S]
プローブ電極径 [mm] プローブヘッド寸法図 プローブケーブル長 [m]
本 体 プローブ
ST-3512 ST-0538XH 50±25 0.005 ±2 Φ0.5 C-1 1.5
ST-0538XH2 75±50 0.008 ±2
ST-0533H2 100±50 0.003 ±2 Φ1.7 C-2
ST-0533H3 200±100 0.02 ±2
ST-0533H4 400±250 0.06 ±2
  • 各プローブの形状は下記をご覧ください。(プローブヘッド寸法図Noをご参照ください)

ST-3512用プローブ寸法図

【図】ストレートタイプ プローブヘッド寸法図[mm]

【図】45°カットタイプ プローブヘッド寸法図[mm]

*ST-3512は、外国為替および外国貿易法の規定により規制貨物(または技術)に該当しますので、輸出する場合は日本政府の輸出許可が必要です。