測定方式から選ぶセレクションガイド

変位計、厚さ計

方式	特長	機種	主要性能（オプション又は特注対応を含む）
方式	特長	機種	測定範囲	最高分解能	周波数帯域	測定対象
レーザ方式（光ヘテロダイン）	超高分解能超高速応答干渉計ならではの高性能測定スポット径 70μm	ST-3761	±50μm	20pm	DC～ 2.3MHz	レーザ光が反射可能な面＜大きさ＞ Φ70um～
静電容量方式高速応答モデル（アクティブ型）	極細 Φ0.1mmプローブ小型の対象を測定可能多種多様なプローブ	ST-3572	±50μm～ ±5000μm	3nm rms	DC～ 10kHz	金属、半導体＜大きさ＞ Φ0.2mm～
静電容量方式高速応答モデル（アクティブ型）	高速応答高速の変位測定に対応多種多様なプローブ	ST-3512	±25μm～ ±500μm	2.5nm rms	DC～ 40kHz（DC～100kHz）	金属、半導体＜大きさ＞Φ1.0mm～
静電容量方式高安定モデル（パッシブ型）	高分解能高安定小型プローブ	ST-3541	±25μm～ ±250μm（～ ±2mm）	0.3nm rms	DC～ 5kHz	金属、半導体＜大きさ＞ Φ1.2mm～
レーザ方式（三角測量型）	広い測定範囲設定距離が大きい低価格	KH-1700シリーズ	±1mm～ ±4mm	1μm rms	DC～ 130Hz	光が反射可能な面＜大きさ＞ Φ0.1mm～

方式	測定法式と特長
光へテロダイン（干渉計）	干渉計とは光の波が重なったときに起きる干渉現象を使用した測定方式で、光の波長を基準として測定するため精度が高く、高分解能を得ることが出来ます。ST-3761で採用している光ヘテロダイン式とは二つの異なる周波数の光を使った干渉計の一方式です。
三角測量式	被測定物に斜めにレーザ光を投光し、反射してくるレーザ光の位置を検出することで被測定物の位置や変位を測定する方式です。