顕微鏡型レーザドップラ振動計 KV100シリーズ (製造元:電子技研工業株式会社)

非接触変位計・厚さ計カタログPDF
カタログ(1,710KB)

非接触変位計・厚さ計
カタログPDF

 

 

 

非接触変位計・厚さ計の資料請求PDF
資料請求(488KB)

非接触変位計・厚さ計の資料請求フォーマットPDF

 

 

レーザ変位計 カタログの詳細版PDF
カタログ(1,875KB)

レーザドップラ振動計
(電子技研工業製)
カタログPDF

 

 

顕微鏡型レーザドップラ振動計 KV100シリーズ

レーザドップラ振動計とは、センサヘッドからレーザ光を振動物体に照射し、振動物体から反射されたレーザ光(ドップラシフトしたレーザ光)の周波数変化(速度変化)を電圧に変換(F/V変換)して振動現象を検出する非接触型の振動速度センサです。 信号処理回路により速度信号を変位信号や加速度信号へ変換し、出力することもできます。
マイクロマシン、MEMS、カンチレバーなど、微小物体の

振動測定に最適です

KV100シリーズ コントロールユニット 主な仕様

KV100シリーズ コントロールユニット 仕様
型名 KV100-LM KV100-MS KV100-S
測定周波数範囲 0.5Hz~300kHz
速度測定範囲 3μm/s~10m/s 0.05μm/s~1m/s 0.05μm/s~0.1m/s
速度レンジ 2m/s/V
0.2m/s/V
0.2m/s/V※
0.02m/s/V
0.02m/s/V
速度出力 電圧 ±5V VELOCITY端子(BNC)
測定精度 ±2%以内
ローパスフィルタ 3kHz, 30kHz, 300kHz
ハイパスフィルタ 0.5Hz, 30Hz, 300Hz
インジケータ 10エレメントLED (SIGNAL LEVEL 表示)
モニタ出力 SIGNAL LEVEL 0~+5V
映像出力 BNC端子より出力 NTSC方式
変位モジュール
(オプション)
S1端子より出力
変位・加速度モジュール
(オプション)

S1端子より出力

加速度: (要お打ち合わせ)

SHUTTER ON/OFF ON:端子短絡(レーザ光出射)、OFF:端子開放(レーザ光閉)
外形寸法 約115(W)×111(H)×281(D)mm (突起物含まず)
重量 約3.8kg
  • ※ 測定周波数範囲 0.5Hz~50kHz


KV100シリーズ センサユニット 主な仕様
方式 光ヘテロダイン法
レーザ光源 He-Neレーザ(波長 632.8nm)
射出光出力 1mW 以下
レーザ安全基準 クラス2 JIS C6802規格適合
測定距離(WD) 集光レンズ取付面より 垂直、水平方向とも約34mm
(5×倍対物レンズ使用時)
フォ-カス・サーチ時間 約1秒(NARROモード時)
ビーム径 5×倍対物レンズ使用 φ8μm
10×倍対物レンズ使用 φ4μm
照明装置 同軸落射照明付き
CCD撮像素子 1/4インチ型38万画素カラーCCD
視野 約0.98mm×1.3mm (5×倍対物レンズ使用時)
映像信号 NTSC方式
インジケータ 10エレメントLED (SIGNAL LEVEL 表示)
対物レンズ 5×倍、10×倍、20×倍、50×倍 (オプション選択)
外形寸法 寸法図
重量 約3.4kg(対物レンズ含まず)
   

KV100シリーズ 一般仕様
接続ケーブル
AC-DCケーブル長 3m
電源 AC100V~240V(±10%) 50/60Hz
消費電力 約42VA
動作温度範囲 0~45℃
動作湿度範囲 20~80%(但し結露しないこと)