非接触変位計・厚さ計について 概要

変位、振動、厚さ等の物理量を非接触のプローブにより検出し、それを電気量に変換して、もとの物理量を正確に知る測定器を、非接触式変位計、厚さ計と呼んでいます。検出はプローブに組み込まれたセンサによって行われますが、測定方式により静電容量方式、レーザ方式等があります。方式によりそれぞれ特長があり、用途に応じて使い分けられます。いずれも非接触方式で検出を行いますので、被測定物に影響を与えることなく確度の高い測定値を得ることができます。

近年、ナノメートルの位置検出、姿勢制御、平面度、厚み測定、精密モータ、ハードディスク、各種ディスクなど幅広い用途で広く使用されております。