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非接触変位計、厚さ計

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製品一覧

レーザ変位計 KH-1700 レーザ変位計 ST-3761 静電容量方式変位計 ST-3541
静電容量方式変位計 ST-3572 静電容量方式変位計 ST-3512

アプリケーションノート

金属板の厚さ分布測定【イメージ】

金属板の厚さ分布測定(213KB)

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高分解能測定【イメージ】

高分解能測定(180KB)

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シリコンウェハ厚さ測定【イメージ】

シリコンウェハ厚さ測定(61KB)

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3点法による回転精度の評価【イメージ】

3点法による回転精度の評価(187KB)

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ST-3541用真空対応プローブ【イメージ】

ST-3541用真空対応プローブ(133KB)

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関連リンク

  • 非接触変位計・厚さ計について
  • ピエゾステージの1nm移動量の測定(レーザ)
  • 静電容量方式変位計について
  • ピエゾステージの1nm移動量の測定
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